高純氮
　　一、物理性質
　　分子式：N2
　　性質：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds（21.1℃，空氣=1）0.967。氣體密度1.153kg/m3（21.1℃，101.3kPa）；液體密度808.5kg/m3（-195.8℃,101.3kPa）。
　　相對分子質量 28.013
　　熔點 63.15K，-210℃，-346oF
　　沸點，195.6
　　純化方法：主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中，通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。
　　二、用途
　　在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
　　三、純化方法
　　1、加氫除氧法
　　在催化劑作用下，普氮中殘余氧和加入的氫發(fā)生化學反應生成水，其反應式：2H2+O2=2H2O，再通過后級干燥除去水份，而獲得下列主要成份的高純氮：N2≥99.999 %，O2≤5×10－6，H2≤1500×10－6，H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.5元/m3左右。
　　2、加氫除氧、除氫法
　　此法分三級，加氫除氧，除氫，除水，獲得下列組成的高純氮：N2≥99.999%，O2≤5×10-6，H2≤5×10-6，H2O≤10.7×10-6。制氮成本在0.6元/m3左右。